今天,北方电碳石墨热场和您聊聊多晶铸锭炉热场结构和各部件作用
多晶硅铸锭炉是一种硅重熔设备,用于生产大量合格的太阳能级多晶硅铸锭。生产中,将达到一定纯度要求的多晶硅装入炉中,按工艺要求加热、熔化、定向长晶、热处理、冷却出炉。多晶硅重熔化长晶的这样一个核心环境,我们称之为热场。热场不单为多晶硅熔化提供大量的热能,在长晶过和程中又提合理的温度梯度场以得到合乎要求的多晶硅晶体。
目的是提供一种设计合理,能有效提高多晶硅加工质量、重量的多晶硅铸锭炉热场结构。
主要由炉体,置于炉体内带提升机械吊杆的保温隔热笼体,置于保温隔热笼体内保温层,置于保温隔热笼体上部保温顶板,下部支撑柱的保温隔隔热底板,置于保温隔热笼体内固定于保温隔热顶板的加热器,固定于支撑柱上面带坩埚和热交换台等构成。由保温隔热笼体的保温层与保温隔热底板、保温隔热顶板构成一个封闭的热场腔室,并由档火条和下隔热笼底部保温条腔室分为上、下两部分,由铜电极通电,由进气管进气,等等组成。
本结构设计合理,由保温隔热笼体内保温层与保温隔热底、保温隔热顶板构成一个封闭的热场腔室,并由隔热笼底部保温条下层将热场腔室分成上下两部分,使之在腔体内形成一个垂直稳定的温度梯场,正常生产时,承装在坩埚中的多晶硅原材料被搁放在热交换台上完成整个重熔长晶过程,本设计在实际应用中经测试,不仅能生产出高品质硅锭,提生了产量,也缩短了整个工艺时间,降低了结晶过程中的能耗。