煅烧石墨加工的操作规程

一、工作分配

提供高纯度的石墨卡瓣和石墨基座，为生产优质太阳能级多晶硅奠定基础。

二、职位的职责

1、煅烧石墨零件的制备

2、石墨零件的清洗

3、石墨零件的干燥

4、石墨零件的煅烧

三、流程原理

石墨加工中挥发性物质通过高温煅烧除去，以防止杂质污染多晶硅在还原和拉伸硅芯。

四、工艺指标

1、真空泵低真空至30格栅(1x 10-3齿轮)

2、扩散泵高真空到90格栅(1x 10-3齿轮)

3、焙烧炉高压启动后20分钟升压，每次0.5V。

4、煅烧炉温度至1550℃

五、停车及紧急停车程序及操作方法

1、沸腾冷却水阀

2、打开真空泵

3、闭式扩散泵制动刀、预热扩散泵

4、当低真空达到30格栅(1x 10-3齿轮)时，打开真空阀，关闭低真空阀。

5、打开高真空阀，高到90格栅(1x 10-3齿轮)

6、打开高压开关，20分钟后升高电压。当真空度等于80-90格时，压力增加到8（x5），炉温为1550℃，恒温2-3小时。

7、停止：缓慢冷却，通常10分钟，停止高压电源，停止扩散泵，关闭真空阀，停止炉子，关闭冷却水阀。

8、拆炉：拆炉后，戴好口罩和高纯手套，将石墨件拆下，用干净的塑料袋密封。

9、紧急停车：先停真空泵，然后停电，最后停水。

六、石墨加工常见事故的分析与处理

（1）停水：立即关闭真空泵阀门，然后关闭电源。

（2）停电：关闭真空泵阀门，等待石墨炉和扩散泵温度降至室温，然后关闭电源，最后关闭循环水阀门。

（3）不能抽真空：停炉检查密封件的密封情况。

七连锁、报警

水压、温度、真空、电压和电流

八、设备清单

循环水系统、真空系统、扩散泵、石墨煅烧炉

九、石墨加工工艺流程

石墨清洗→装炉→抽真空→开炉→升温→恒温→降温

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点击次数：更新时间：2018-12-28 23:06:07 【打印此页】【关闭】