五、多晶硅落棒的预防措施

通过对棒材浇注原因的分析，可以采取以下措施预防和有效控制还原炉棒材浇注。

1、优化还原炉系统。

采用炉内外气体分布较好的设备，可有效改善还原炉的工艺操作。尤其对于大型还原炉，优良的气体分布装置不仅能够改善炉内气体浓度梯度，而且能够降低炉内温度梯度分布，从而在硅芯棒上均匀地进行CVD沉积反应。可以获得均匀的硅棒制品，防止棒材浇注的发生。

同时，使用合格、高质量的硅芯，可以有效避免硅芯本身质量对后续生产造成的负面影响，使用更精确的测控设备可以避免对实际生产造成的不利影响。通过系统测量和控制误差。

2、提高安装水平。

电极和硅芯的安装也是后续正常生产的必要条件。因此，在安装过程中，应尽量使硅芯水平竖直地安装在炉膛内，以尽量减少其安装的不均匀性；确保接触方式为表面接触，尽量避免线接触或甚至点接触，以减少硅芯。当通电过程中电阻过高时，会出现局部高温熔化现象。

3、提高工艺控制操作水平。

在保证各测控仪表精度的前提下，严格控制炉内硅芯的电流和温度，使还原炉进料、硅芯电流与炉内温度相匹配。在所有生产阶段尽可能地使用硅芯。同时要严格控制还原炉进料压力的波动，避免压力波动过大，温度波动过大。硅芯两芯的叠加导致硅芯的剧烈振动，甚至导致棒的外观。

六、结论

还原炉在多晶硅生产中的运行是一个不稳定的过程。还原炉棒材反转是还原炉系统设备、硅芯安装、生产操作控制等多种因素综合作用的结果，不利于正常生产。棒材浇注缩短了生产过程中的有效生产时间，降低了企业的实际产量，增加了现场工人的劳动强度和企业的经济损失。因此，在生产中应注意从设备系统到工人操作规程的整个还原炉系统，尽量避免还原炉后棒，使还原炉系统安全、稳定、长、满运行。从而更好地实现企业的经济效益。