石墨加工
煅烧石墨加工的操作规程
2018-12-28 23:06:07
一、工作分配
提供高纯度的石墨卡瓣和石墨基座，为生产优质太阳能级多晶硅奠定基础。
二、职位的职责
1、煅烧石墨零件的制备
2、石墨零件的清洗
3、石墨零件的干燥
4、石墨零件的煅烧
三、流程原理
石墨加工中挥发性物质通过高温煅烧除去，以防止杂质污染多晶硅在还原和拉伸硅芯。
四、工艺指标
1、真空泵低真空至30格栅(1x 10-3齿轮)
2、扩散泵高真空到90格栅(1x 10-3齿轮)
3、焙烧炉高压启动后20分钟升压，每次0.5V。
4、煅烧炉温度至1550℃
五、停车及紧急停车程序及操作方法
1、沸腾冷却水阀
2、打开真空泵
3、闭式扩散泵制动刀、预热扩散泵
4、当低真空达到30格栅(1x 10-3齿轮)时，打开真空阀，关闭低真空阀。
5、打开高真空阀，高到90格栅(1x 10-3齿轮)
6、打开高压开关，20分钟后升高电压。当真空度等于80-90格时，压力增加到8（x5），炉温为1550℃，恒温2-3小时。
7、停止：缓慢冷却，通常10分钟，停止高压电源，停止扩散泵，关闭真空阀，停止炉子，关闭冷却水阀。
8、拆炉：拆炉后，戴好口罩和高纯手套，将石墨件拆下，用干净的塑料袋密封。
9、紧急停车：先停真空泵，然后停电，最后停水。
六、石墨加工常见事故的分析与处理
（1）停水：立即关闭真空泵阀门，然后关闭电源。
（2）停电：关闭真空泵阀门，等待石墨炉和扩散泵温度降至室温，然后关闭电源，最后关闭循环水阀门。
（3）不能抽真空：停炉检查密封件的密封情况。
七 连锁、报警
水压、温度、真空、电压和电流
八、设备清单
循环水系统、真空系统、扩散泵、石墨煅烧炉
九、石墨加工工艺流程
石墨清洗→装炉→抽真空→开炉→升温→恒温→降温